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無塵布的測試方法

在市場上,無塵布品種多樣,用途廣泛,價格更是高低不平,客戶在采購無塵布時主要通過無塵布的材質、吸收率等來評估無塵布性能和費用。



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而在半導體行業的潔凈室中對無塵布塵粒、離子、ESD等有很高的要求。碩源科技為此提供了一些評估無塵布的方法。


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無塵布需進行嚴格測試以達到性能要求和污染控制標準,一般無塵布需進行以下測試:

1、 抗磨損性測試
通常,抗磨損性測試屬于布料物理性質的測試。但在無塵布的測試中,因為磨損的過程會產生塵粒,因此,將無塵布的抗磨損性測試歸納為污染控制范圍更合適。
*測試標準:抗磨損性越強越不容易產生塵粒。

2、 克重
根據ASTM-D-3776測試無塵布單位面積的重量
*參考測試標準:一般要求在150-300g/㎡

3、 吸液量和吸液速度
根據IEST-RP-CC004.3第8節要求,需測試無塵布的吸收量和吸收速率。
吸液量反映的是單位面積的無塵擦拭布的吸收液體的毫升數。
吸液速率是指無塵布吸收10ml液體所需的時間。
以上兩種測量都須測量三次并計算平均值
*參考測試標準:吸液量一般不小于400g/㎡
吸液速度一般不大于1秒。

4、 IC測試
根據IEST-RP-CC004.3第7.2節要求,定性定量地測量無機陰陽離子含量。
*參考測試標準,在磁頭行業,一般要求CL-≤0.03ug/c㎡; SO42-≤0.03ug/c㎡; NO3-≤0.03ugc㎡; Total:<1.0ug/c㎡

5、 NVR測試
根據IEST-RP-CC004.3第7.1節要求,測試單位面積上的無揮發性殘留物。
NVR測試是將無塵布浸泡于一定量的溶劑中一定量的時間,然后將無塵布取出,測試溶于溶劑中的無揮發性殘留物的質量。
*參考測試標準:在磁頭行業,一般要求<3.0ug/c㎡

6、 LPC測試
根據IEST-RP-CC004.3第6.2.1節的要求,對無塵布進行LPC測試。
LPC可測試無塵布上的液態塵粒數。
LPC測試是將無塵布浸泡在一定量的DI水中,經過超聲波振蕩,檢測DI水中的塵粒濃度。*參考測試標準:在磁頭行業,一般要求<30counts/c㎡

7、 FTIR測試
傅立葉變化紅外光譜測試
*參考測試標準:一般不允許有硅油、氨基化合物、增塑劑。

8、 GC測試
GC測試是用來分析無塵布上有機污染物種類和含量的一種方法。
*參考測試標準:在磁頭行業,要求Total:<10ug

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